CMI900/950系列X射线荧光测厚仪
Advanced Materials Analysis Instrument
CMI900/950系列X射线荧光测厚仪是一种功能强大的材料涂/镀层测量仪器，可应用于材料的涂/镀层厚度、材料组成、贵金属含量检测等领域，为产品质量控制提供准确、快速的分析。基于Windows2000中文视窗系统的中文版SmartLink FP应用软件包，实现了对CMI900/950主机的全面自动化控制，分析中不需要任何手动调整或手动参数设定。可同时测定最多5层、15种元素。数据统计报告功能允许用户自定义多媒体分析报告格式，以满足您特定的分析报告格式要求；如在分析报告中插入数据图表、测定位置的图象、CAD文件等。统计功能提供数据平均值、误差分析、最大值、最小值、数据变动范围、相对偏差、UCL(控制上限)、LCL(控制下限)、CpK图、直方图、X-bar/R图等多种数据分析模式。
CMI900/950系列X射线荧光测厚仪
Advanced Materials Analysis Instrument
CMI900/950系列X射线荧光测厚仪能够测量多种几何形状、各种尺寸的样品；并且测量点最小可达0.025 x 0.051毫米。
CMI900系列采用开槽式样品室，以方便对大面积线路板样品的测量。它可提供五种规格的样品台供用户选用，分别为：
- 标准样品台：XY轴手动控制、Z轴自动控制。
- 扩展型标准样品台：XY轴手动控制、Z轴自动控制。
- 可调高度型标准样品台：XY轴手动控制、Z轴自动控制。
- 程控样品台：XYZ轴自动控制。
- 超宽程控样品台：XYZ轴自动控制。
CMI950系列采用开闭式样品室，以方便测定各种形状、各种规格的样品。同样，CMI950可提供四种规格的样品台供用户选用，分别为：
- 全程控样品台：XYZ三轴程序控制样品台，可接纳的样品最大高度为150mm，XY轴程控移动范围为300mmx 300mm。此样品台可实现测定点自动编程控制。
- Z轴程控样品台：XY轴手动控制，Z轴自动控制，可接纳的样品最大高度为270mm。
- 全手动样品台：XYZ三轴手动控制，可接纳的样品最大高度为356mm。
- 可扩展式样品台用于接纳超大尺寸样品。
CMI900/950主要技术规格如下：
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No.
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主要规格
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规格描述
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1
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X射线激发系统
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垂直上照式X射线光学系统
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空冷式微聚焦型X射线管，Be窗
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标准靶材：Rh靶；任选靶材：W、Mo、Ag等
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功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)－标准
75W(4-50kV，0-1.5mA)－任选
X射线管功率可编程控制
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装备有安全防射线光闸
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2
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滤光片程控交换系统
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根据靶材，标准装备有相应的一次X射线滤光片系统
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二次X射线滤光片：3个位置程控交换，Co、Ni、Fe、V等多种材质、多种厚度的二次滤光片任选
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位置传感器保护装置，防止样品碰创探测器窗口
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3
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准直器程控交换系统
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最多可同时装配6种规格的准直器，程序交换控制
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多种规格尺寸准直器任选：
－圆形，如4、6、8、12、20 mil等
－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等
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4
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测量斑点尺寸
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在12.7mm聚焦距离时，最小测量斑点尺寸为：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm准直器)
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在12.7mm聚焦距离时，最大测量斑点尺寸为：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm准直器)
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5
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X射线探测系统
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封气正比计数器
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装备有峰漂移自动校正功能的高速信号处理电路
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6
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样品室
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CMI900
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CMI950
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－样品室结构
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开槽式样品室
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开闭式样品室
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－最大样品台尺寸
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610mmx 610mm
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300mmx 300mm
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－XY轴程控移动范围
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标准：152.4 x 177.8mm
任选：50.8mmx 152.4mm
50.4mm x 177.8mm
101.6 x 177.8mm
177.8 x 177.8mm
610mm x 610mm
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300mmx 300mm
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－Z轴程控移动高度
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43.18mm
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XYZ程控时，152.4mm
XY轴手动时，269.2mm
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－XYZ三轴控制方式
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多种控制方式任选：XYZ三轴程序控制、XY轴手动控制和Z轴程序控制、XYZ三轴手动控制
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－样品观察系统
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高分辨、彩色、实时CCD观察系统，标准放大倍数为30倍。50倍和100倍观察系统任选。
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激光辅助光自动对焦功能
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可变焦距控制功能和固定焦距控制功能
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7
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计算机系统配置
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IBM计算机：2.8G奔腾IV处理器，256M内存，1.44M软驱，40G硬盘，CD-ROM，鼠标，键盘，15寸液晶，56K调制解调器。惠普或爱普生彩色喷墨打印机。
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8
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分析应用软件
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操作系统：Windows2000中文平台
中文分析软件包：SmartLink FP软件包
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－测厚范围
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可测定厚度范围：取决于您的具体应用。请告诉牛津仪器您的具体应用，我们将列表可测定的厚度范围
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－基本分析功能
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无标样检量线测厚，可采用一点或多点标准样品自动进行基本参数方法校正。牛津仪器将根据您的应用提供必要的校正用标准样品。
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样品种类：镀层、涂层、薄膜、液体(镀液中的元素含量)
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可检测元素范围：Ti22 – U92
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可同时测定5层/15种元素/共存元素校正
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组成分析时，可同时测定15种元素
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多达4个样品的光谱同时显示和比较
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元素光谱定性分析
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－调整和校正功能
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系统自动调整和校正功能：校正X射线管、探测器和电子线路的变化对分析结果的影响，自动消除系统漂移
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谱峰计数时，峰漂移自动校正功能
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谱峰死时间自动校正功能
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谱峰脉冲堆积自动剔除功能
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标准样品和实测样品间，密度校正功能
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谱峰重叠剥离和峰形拟合计算
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－测量自动化功能
(要求XY程控机构)
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鼠标激活测量模式：“Point Ａnd Shoot”
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多点自动测量模式：随机模式、线性模式、梯度模式、扫描模式、和重复测量模式
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测量位置预览功能
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激光对焦和自动对焦功能
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－样品台程控功能
(要求XY程控机构)
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设定测量点
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OneＯrTwo Datumn (reference) Points on each file
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测量位置预览(图表显示)
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－统计计算功能
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平均值、标准偏差、相对标准偏差、最大值、最小值、数据变动范围、数据编号、CP、CPK、控制上限图、控制下限图
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数据分组、X-bar/R图表
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直方图
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数据库存储功能
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－系统安全监测功能
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Z轴保护传感器
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样品室门开闭传感器
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操作系统多级密码操作系统：操作员、分析员、工程师
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－任选软件
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统计报告编辑器允许用户自定义多媒体报告书
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液体样品分析，如镀液中的金属元素含量
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材料鉴别和分类检测
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材料和合金元素分析
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贵金属检测，如Au karat评价
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L200薄膜测厚仪
