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橫河电机YOKOGAWA台式微量氧氧气分析仪OX400

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公司: 上海晖盈实业有限公司 
型 号: OX400 
单 价: 面议 询价 
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发货期限: 自买家付款之日起 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2013-05-30
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产品详细说明

OX400可用于控制和监视各种半导体应用,并控制环境,空气泄漏入惰性气体及其他过程。

用于半导体扩散炉和烘干炉,以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制,用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度,以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量,测量氧气浓度,防止粉尘运输中粉尘爆炸

主要技术参数:

测量对象

惰性气体中的氧气浓度
(易燃性气体、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外)

测量系统

氧化锆系统

采样方法

泵式、抽提式等

样气条件

流速:200±25ml/min(仅适用于传感器)
温度:0~50℃(无结露)
湿度:无结露
压力:0~300PaG
最大容许压力:30kPaG

测量量程

0~10ppm O2至0~100vol% O2

输出量程

自动:

0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,0~100%(默认)

固定:

设为0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,或0~100%

部分:

可设置下限值或上限值

模拟输出

2路输出,第一路:4~20mA DC(最大负载电阻550Ω),第二路:可选为0~1,0~5,0~10V DC(负载电阻:10kΩ或更大)

接点输出

报警输出2点:

错误接点,O2浓度报警接点

指定量程范围输出1点:

接点输出

多选择器(选配件):

流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出

接点输入

1点:采样气体吸入泵的远程ON/OFF

自诊断

故障:

传感器错误,加热器温度错误,温度传感器断开,设备温度错误,CPU错误,FAN停止

报警:

加热器不稳定,传感器错误,电动势异常,非对称电压错误错误,标定错误,传感器电阻错误,O2浓度上/下限,超限

串口通信

RS-232,38400 bps

标定方法

(1)3点:10ppm,1000ppm,空气,(2)2点:可设定为零点气和量程气标定,(3)1点,(4)空气标定

暖机时间

20分以内

电源

100~120V AC/220~240V AC,50/60Hz

功耗

100~120V AC,200VA 最大,220~240V AC,400 VA 最大

尺寸

213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm

质量

约5kg

管线连接

气体入口:Rc1/4或1/4NPT内螺纹
气体出口:Rc1/4或1/4NPT内螺纹

环境条件

安装条件:

室内,盘装或壁装,非易燃区域

环境温度:

0~40℃,无结露

环境湿度:

5~85%RH

储存温度:

-5~50℃

重复性

±1%F.S.(10,100,1000 ppm,1%,10%或100%)

线性

±2%F.S.
±3%F.S.(0~100ppm或更低)

响应时间

90%响应
10秒内(0~1%或更高)
30秒内(小于0~1%)

漂移

±2%F.S./周


公司联系方式
  • 上海晖盈实业有限公司 [加为商友]
  • 联系人徐智(先生) 经理 
  • 地区上海
  • 地址上海市吴宝路27弄11号102室
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