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Extrel残余气体分析仪是一种结果可靠、操作简便的全压力范围检测的残余气体分析仪。它在同价位的仪器中能提供最好的性能，能提供理想的背景气分析、泄露气体检测和真空腔表征。
Extrel残余气体分析仪可用在两个质量数范围：1~100amu或者1~300amu。系统标配法拉利杯检测器，可选配法拉利杯/电子倍增器双检测器。
Extrel残余气体分析仪可用在两个质量数范围：1~100amu或者1~300amu。系统标配法拉利杯检测器，可选配法拉利杯/电子倍增器双检测器。 |
系统装备有一个皮拉尼压力(真空)计和贝阿德-阿尔珀特真空计，这使得用户能得到从大气压到超高真空的全范围压力检测。
Extrel残余气体分析仪装配上完整的泵站后可作为一个系统使用。泵站包括：一个70 l/s涡轮分子泵，膜泵， 毛细管进样口。腔使用2 （二又四分之三）英寸法兰镶嵌。
Extrel残余气体分析仪利用RS-232或USB接口与Windows 2000或windows XP操作系统通讯。软件功能强大，易于使用。
RGA应用：
| 残余气体分析 |
UHV腔 |
除气 |
泄露检测 |
| TPD |
等离子体分析 |
燃烧分析 |
排放分析 |
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