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smc系列XM(高真空角阀)和XY(高真空管内阀门)功能体材料的SUS(不锈钢)。XM的结构是一样的XL,除了阀体材料的XL是铝。XM系列是可互换的XL系列。精密铸造,一张生产过程中防止缺陷的XY系列由于积累的气体并确保没有孔隙度在体内。
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