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用与检测反光界面的划痕、破损和污垢
这种平行光光学单元是为检测反光表面如CD和晶片上的细小裂纹、凹痕和污损而设计的。
新技术:平行光光学单元;从光源发射出的光线通常是以放射方式向外辐射的。象太阳光那样
,总是从同样的角度到达物体表面而不散射,这种光称为平行光。MSU系列就是运用这种平行光
的原理开发的光学单元。
用于表面有光泽的较小的被测物体(MSU-10):这种光线能清晰地摄取CD表面的划痕、引
线框上的刻字和二唯码的图象。这些用普通的同轴光是无法看到的。
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在“选项”栏中标有星号的项表示配有透明塑料板