仪器放大倍数:根据用途可选 | 加工定制:否 | 类型:半导体/FPD检查显微镜 |
重量:不同配置重量不一(g) | 型号:AL120-12 | 目镜放大倍数:根据用途可选 |
规格:AL120-12 | 适用范围:工业等 | 品牌:Olympus/奥林巴斯 |
装箱数:1-5 | 物镜放大倍数:根据用途可选 |
AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP(装载口)和FOSB,适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。
人机工程学设计,操作方便
坚固、可靠和安全传送
专用宏观照明装置
专用宏观照明装置 |
AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F | |
晶圆尺寸 | 300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可选:200 mm | |
卡盒 | ●FOUP(Front Opening Unified Pods)前开门标准夹 ●SEMI:E47.1-0200规格产品 ●FIMS-FOSB, FOSB | ●FOSB(Front Opening Shipping Box)前开门搬运盒 ●SEMI:M31-0999规格产品 |
卡盒数 | 单盒(装载、卸载兼用) | |
卡盒设置高度 | 900 mm | |
装载端口 | 有 | 无 |
搬运顺序 | 表面宏、内面宏、显微镜检查 | |
检查模式 | 全部检查、抽样检查 | |
晶圆校准 | 非接触式中心环 | |
晶圆搬运方式 | 真空吸附机械搬运 | |
适用显微镜 | 半导体检查显微镜MX61L | |
应用环境 | AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 真空-67~-80 Kpa | |
载物台 | XY手动吸附载物台,有XY粗调/微调和360度旋转机构 | |
重量(不包括显微镜) | 约360 kg | 约270 kg |
公司联系方式
- 上海奥电电子科技有限公司 [加为商友]
- 联系人张剑胜(先生) 经理
- 地区上海
- 地址中国 上海市浦东新区 上海浦东新区张江高科丹桂路292号102室