Micro-vu Vertex系列全自动三次元

型号

Vertex251HM/HC

Vertex251UM/UC

Vertex311HM/HC

Vertex311UM/UC

XY 精度

Uxy=2.0+L/200

Uxy=1.8+L/200

Uxy=2.6+L/200

Uxy=2.0+L/200

Z 精度

Uz=2.0+L/150

Uz=2.0+L/150

Uz=2.0+L/150

Uz=2.0+L/150

XY 重现性

2.0μm

1.8μm

2.6μm

2.0μm

Z 重现性

2.0μm

2.0μm

2.0μm

2.0μm

XY 加速度

500mm/S2

Z 加速度

200mm/S2

XY 移动速度

250mm/s

Z 移动速度

100mm/s

光学尺分辨率

0.1μm

量测行程

250x160x160mm

315x315x160mm

外形尺寸

606x800x775mm

720x1085x1030mm

重量

120kg

150kg

承载重量

10kg

12kg

基座材质

铝合金

传动方式

Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z

电控系统

伺服系统: CNC, 鼠标,摇杆

光学系统&放大倍率

6.5:1光學Zoom,20-390x

12:1光學Zoom,15-540x

6.5:1光學Zoom,20-390x</>

12:1光學Zoom,15-540x

影像&光源

红光LED (黑白系统)或白光 LED(彩色系统)

软件

InSpec for Windows Metrology Software

20℃±2°,30-80% 湿度

备注

Vertex311系列可选择加高型,Z轴250mm