| 类型:三坐标 | 定位精度:MGH564(mm) | 型号:MGH564 |
| 适用范围:MGH564 | 品牌:上海 | 加工定制:否 |
| 外形尺寸:MGH564(mm) |
特点 1.MGH系列测量机采用封闭框架结构设计,是高精度精密型测量机的专用结构。由固定桥和工作台移动组成,其牢固的机械结构确保了系统具备最大的刚性、最佳的稳定性和最小的振动,保证了整个测量空间极高的测量精度。 2.轴运动采用中央驱动,避免了Y向运动中的偏摆,提高了Y轴的运动精度Y轴导轨采用燕尾槽定位方式,以保证运动时的最大刚性及精度。三轴导轨均采用优质花岗岩,使三轴具有相同的温度特性,因而具有良好的温度稳定性、抗实效变形能力,钢性好、动态几何误差变形最小。 3.三轴导轨均采用自洁式预载荷高精度空气轴承,运动更平稳。光栅的布置接近被测工件,遵循了阿贝误差原理,减小了系统误差。驱动系统采用进口高性能直流伺服电机、进口摩擦杆传动装置,确保传动更快捷、更精准、运动性能更佳。Z轴采用气缸平衡装置,极大的提高了Z轴的定位精度及稳定性。 性能参数 测量范围(mm)X:500 测量范围(mm)Y:600 测量范围(mm)Z:400 探测系统:PH10T+TP20静态温度补偿系统 分辨率:0.1μm 示值误差(μm):1.5+L/350 探测误差(μm):1.8 |
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