ZLDS/N-100测半导体的振动 振动测量
概述:
ZLDS/N-100激光传感器可测量半导体的振动,用于微小振动实时检测。用于很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具。
ZLDS/N-100是一款非接触式高精度光学位移传感器,适用于振动测量,它具有100微米的量程和15纳米的分辨率。激光传感器的起始测量距离是3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。
激光传感器应用领域:
适用于振动测量,应用于光盘、硬盘的在线检测,还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。
ZLDS/N-100激光传感器主要特点:
宽频带,可测高频振动体;
对被测体表面要求低,反射率4~100%均可用;
高分辨率,可替代电容式传感器;
对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场振动测量
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ZLDS/N-100激光传感器详情请访问:
http://www.51sensors.com/prod_detail_954.html
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