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电容位移传感器 ZCS1100测位移
从能量转换的角度而言，纳米位移传感器电容变换器为无源变换器，需要将所测的力学量转换成电压或电流后进行放大和处理。力学量中的线位移、角位移、间隔、距离、厚度、拉伸、压缩、膨胀、变形等无不与长度有着密切联系的量；这些量又都是通过长度或者长度比值进行测量的量，而其测量方法的相互关系也很密切。另外，在有些条件下，这些力学量变化相当缓慢，而且变化范围极小，如果要求测量极小距离或位移时要有较高的分辨率，其他传感器很难做到实现高分辨率要求，纳米位移传感器ZCS1100可以实现高分辨率的需要。
纳米位移传感器ZCS1100简介
纳米位移传感器ZCS1100是一个单一的通道，高性能线性位移测量系统，纳米位移传感器创新的电容位移测量技术，提供了纳米测量能力，成本低，适合测量任何导电目标。
纳米位移传感器主要特点
纳米级分辨率；
线性0.08%；
灵敏度可调；
量程：240µm；
分辨率：0.1nm；
供电：±15VDV；
高性能、成本低，尺寸小巧；
纳米位移传感器应用领域
压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。
详情请访问：
http://www.51sensors.com/prod_detail_791.html
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规格参数：
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参数 |
标志 |
值 |
单位 |
备注 |
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静态参数 |
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最小 |
标准 |
最大 |
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材质 |
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特种不胀钢 |
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尺寸 |
|
35（长）x 34（直径） |
mm |
10mm中孔 |
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|
*范围 |
dzp·max |
±7.5 |
±8.0 |
|
um |
|
|
|
*比例因子 |
Bz1 |
1 |
um |
① |
|||
|
*比例因子误差 |
δbz1 |
|
|
0.1 |
% |
|
|
|
静态刚度 |
kz |
20 |
N/um |
|
|||
|
共振频率（空载） |
f0·0 |
900 |
HZ |
|
|||
|
最大负载 |
|
|
|
0.5 |
kg |
② , |
|
|
动态参数 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
快 |
中 |
慢 |
|
③ |
|
|
3dB带宽 |
Bz·p |
80 |
40 |
40 |
HZ |
|
|
|
*信号响应时间 |
tzs·s |
5 |
10 |
30 |
ms |
④ |
|
|
*位置嗓音 |
δZp·n |
0.50 |
0.20 |
0.10 |
nm |
⑤ |
|
|
转换速率 |
Uzp·max |
2 |
1 |
0.5 |
um/ms |
⑥ |
|
|
误差 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
最小 |
标准 |
最大 |
|
|
|
|
*磁滞（峰峰值） |
δzp·hyst |
|
0.005 |
0.01 |
% |
⑦ |
|
|
*线性度（峰值） |
δzp·lin |
|
0.01 |
0.02 |
% |
⑧ |
|
|
角度偏差1 |
δФz |
|
|
10 |
urad |
⑨ |
|
|
角度偏差2 |
δУz |
|
|
10 |
urad |
⑨ |
|
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